氩气生产厂家为你介绍高纯氩气净化机
- 2019-10-18-
氩气生产厂家为你介绍高纯氩气净化机装置说明:原料氩为工业普氩时,其纯化工艺为,采用非蒸散型吸气剂为净化剂,在一定温度下,吸气剂可将普氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等杂质形成稳定的化合物或固溶体,从而达到对氩气精制的目的。
本装置净化器采用特殊结构,具有接触面积大、阻力小、净化效率高、热功率损耗小等优点。
氩气生产厂家介绍说本装置吸附干燥器对氩气进行深度脱水,可与区熔硅晶炉配套使用可用于激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。
技术参数:
1、处理气量: 5~500Nm/h
2、纯化后氩气纯度 99.9995%
纯氩技术要求应符合下表的规定符合:GB/T4842-2006项目
原料气指标 纯氩指标 纯化后指标
氩气纯度(体积分数)/10-2 99.99% 99.999% 99.9995%
氢气含量(体积分数) ≤ ppm 5 1.0 0.5
氧气含量(体积分数)≤ ppm 10 1.5 1.0
氮含量(体积分数)≤ ppm 50 4 2
烃类含量(体积分数)≤ ppm 20 1 0.5
水份含量(体积分数)≤ ppm 15 3 2.0
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